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产品&技术

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NanoPro-200系列晶圆自动光学检测设备

   NanoPro-200系列产品是中导光电即将推向市场的第二代纳米图形晶圆缺陷检测设备,适用于65nm-0.11um工艺产线的IC有图形和无图形晶圆缺陷检测。

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