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中导光电成功研制晶圆自动光学检测设备

       2020年12月2日,中导光电成功研制公司首台半导体IC晶圆自动光学检测设备(Nano Pro-100产品),这是中导光电继FPD自动光学检测设备国产化之后又一重大产品突破,标志着中导光电正式进入半导体IC晶圆检测领域。

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       中导光电研制成功的Nano Pro-100产品,是公司晶圆自动光学检测设备Nano Pro系列中的第一代产品。该产品适用于0.13~0.18um工艺的IC有图形晶圆和无图形晶圆检测产线,具备亮场暗场检测功能,配置高精密自动聚焦系统、多通道成像和集成技术、8英寸及12英寸晶圆兼容设计,处于国内领先水平。

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